檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "annealing".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="鄭正元"
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本研究運用準分子雷射退火矽膜再結晶特性之線上光學雙檢測雷射系統即時檢測出非晶矽薄膜於準分子雷射退火期間反射率與穿透率之變異性,進而分析相關物理現象和量測矽膜融化時間;此外本研究亦改變矽膜厚度和基板預…
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本論文建構一套能夠即時量測薄膜於準分子雷射照射期間之反射率與穿透率變化之原位(in-situ)線上光學檢測系統(Time-Resolved Optical Reflectivity and Tran…
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